Berendezések


Elektronspektroszkópiai Laboratórium  Multirétegkinetika és Szerkezetvizsgálati Laboratórium Röntgenspektroszkópiai Laboratórium Alacsony Hőmérsékleti Fizikai Laboratórium
Elektronspektroszkópiai Laboratórium

ESA-31 Elektrosztatikus Elektron spektrométer
Típusa:  félgömb analizátor
Elektronenergia mérési tartomány:  20 eV - 10 keV
Energiafeloldás:  max. 3 x 10-5
Ultranagy vákuum: 5 x 10-10 mbar
Felszereltség:
  • 4 db röntgenforrás (1467 eV-től
    8048 eV-ig)
  • elektronágyú (10 keV-ig),
  • ionágyú felülettisztításhoz

Kapcsolat: dvarga at atomki.hu

Multirétegkinetika és Szerkezetvizsgálati Laboratórium

A szekunder semleges-részecske/ion tömegspektrométer (SNMS/SIMS)

Porlasztó gázok:     Ar, Ne, Kr, Xe
Jellemző porlasztási sebesség: ~0,1 nm/s
Ionenergia: 100 eV - 2 keV
Tömegspektrométer: Balzers QMG 422
Mérhető tömegtartomány: 0 - 340 amu
A detektálás alsó határa: 1 ppm
Mélységi feloldás: 1-2 nm
Mintatartó: fűthető  600 ºC-ig,
hűthető  -180 ºC-ig,
X-Y irányokba mozgatható

További információ »

Kapcsolat: vad at atomki.hu


Magnetronos porlasztó

Az ultravákuum kivitelű vákuumrendszerrel rendelkező magnetronos porlasztó berendezés néhány atomsor vastagságú, jó minőségű éles határfelületekkel rendelkező vékonyrétegek vagy multirétegek előállítását tetszi lehetővé. Főbb kutatási területünk a fém, félvezető vagy szigetelő anyagokból készült rétegek/multirétegek termikus stabilitásának, a végbemenő diffúziós keveredések és szilárdtest reakciók vizsgálata.

Kapcsolat: langer at tigris.klte.hu és csik at atomki.hu


Profilométer

Az AMBIOS XP-I típusú profilométer 0,05 - 10 mg közötti tartományban szabályozható tű nyomóerő alkalmazásával felületek durvaságának nanométeres mélységi feloldással történő elemzését teszi lehetővé. 

Főbb paraméterek:
Szkennelési hossz:     max. 30 mm
Minta vastagság:     max. 20 mm
Mélységi feloldás:     0.5 nm 10 µm-en
1.5 nm 100 µm-en
Tű görbületi sugara:     2.0 µm
A minta optikai megfigyelése:     Színes, 100X nagyítású kamera

Kapcsolat: csik at atomki.hu


Röntgenspektroszkópiai Laboratórium

Kettős funkciójú röntgenanalizátor

1. Röntgen diffraktométer
Típusa: horizontális Bragg-Brentano elrendezés, grafit monokromátor
Szögtartomány (2θ):     0.5º - 120º
Legkisebb lépésköz (2θ):     0.005º

2. Röntgenfluoreszcens analizátor
Típusa:  energia diszperzív
Detektor: 30 mm2 Si(Li)
Sugárforrás: röntgencső/szekunder target
Analitikai rendszám tartomány: Z > 11
Analitikai koncentráció tartomány: ~ 1 ppm - 100%

Kapcsolat: kvm at atomki.hu

Alacsony Hőmérsékleti Fizikai Laboratórium

 R 160 általános célú kriosztát
Specifikáció:
  1. Folyékony hélium térfogat: 40 l
  2. Beépített szupravezető mágnes térerőssége maximum 9 T, vertikális irányú
  3. Beépített változtatható hőmérsékletű mérőkamra: szabályozási tartomány 2÷300 K, szabályozás kisnyomású hélium gázárammal 4,2 K fölött, hélium folyadékfürdő szivattyúzásával 4,2 K alatt
  4. A mintakamra a kriosztát tetejéről hozzáférhető (top loading), a mintakamra átmérője 30 mm

 3He/4He keverési hűtőgép
Specifikáció:
  1. elérhető legalacsonyabb hőmérséklet: 6 mK
  2. a mintakamra vertikális irányú, maximum 1,8 T térerősségű szupravezető mágnes belsejében helyezkedik el
  3. A mintakamra egy ablakrendszer révén optikai, vagy részecskenyalábhoz csatlakoztatható 

Szilárdtestfizikai mérésekhez alkalmas mérőrendszer
Specifikáció:
  1. NI PXI alapú adatgyűjtő
  2. lock-in analizátor
  3. elektronikai jelfeldolgozó egységek
  4. mágneses és áramtranszport tulajdonságok mérésére alkalmas mérőszondák 
Kapcsolat: ms at atomki.hu